MEMS制造工艺

MEMS制造技术用于在单个硅基板、玻璃基板或有机材料上构建机械组件、传感器、执行器、电子电路等，所有这些都具有亚微米的精度。与半导体电路一样，MEMS的制造过程包括光刻、蚀刻和其他步骤。这项技术对于许多现代设备的制造是必不可少的，如手表、手机和电脑。爱普生已经使用这项技术很多年了，先是加工机械手表零件，后来加工石英手表所用的晶体单元。经过几十年的经验和完善，我们的MEMS技术是行业中最精确的。

爱普生MEMS加工技术的优势在于其卓越的三维精度。普通半导体制造对平面尺寸精度要求较高，而对高度方向精度要求不高。使用通用半导体制造设备制造的结构的高度变化了几个百分点。相比之下，爱普生的MEMS制造技术将这种可变性保持在很低的水平——大约是普通半导体加工的五分之一到十分之一。我们的技术能够形成复杂的部件，如薄膜压电(TFP)驱动器，油墨通道和喷嘴板。

在光敏树脂上生产的热打印头的喷嘴长度为几微米，而在使用MEMS技术在硅片上制造的MicroTFP打印芯片上的喷嘴长度可能是这个长度的10倍以上。这使得它有可能获得异常高的液滴放置精度和惊人的图像质量。

构成PrecisionCore打印头的MicroTFP打印芯片中的TFP执行器、墨水通道和喷嘴板是使用MEMS技术以亚微米级精度制造的。可变尺寸液滴技术(VSDT)是一种先进的半月板控制技术，也有助于爱普生打印机的高速和卓越的打印质量。采用爱普生精密MEMS制造技术，PrecisionCore打印头将喷墨打印提升到一个新的水平。